FMM技术是OLED蒸镀制程中的核心，它直接决定了OLED屏幕的分辨率、显示效果和生产成本，可以说，没有FMM,就没有今天高分辨率的OLED屏幕。
什么是FMM？它的作用是什么？
核心定义：
FMM，中文全称“精细金属掩模板”，也常被称为“金属荫罩”，它是一块由超高精密合金（如殷钢Invar，一种铁镍合金）制成的超薄金属板，厚度通常在20-50微米（μm）之间。
核心作用：
在OLED制造中，FMM扮演着类似于“高精度喷绘模具”的角色，它的主要作用是在真空蒸镀过程中，精确地控制红、绿、蓝三色有机发光材料的沉积位置。
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没有FMM： 在真空腔室中，加热源（坩埚）会将有机材料蒸发成气态分子，这些分子会向四面八方均匀扩散，随机沉积到玻璃基板上，这样一来，红、绿、蓝三种颜色会严重混合，无法形成独立的像素点,也就无法形成图像。
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有了FMM： FMM被精确地放置在玻璃基板上方，与基板保持一个非常微小的间隙（约10-20微米），FMM上蚀刻有数百万个与像素点一一对应的、排列整齐的微孔（开口），当有机材料蒸气穿过这些微孔后，只能沉积在基板对应的区域，从而形成独立的、精确的红、绿、蓝子像素。
FMM如何工作？（蒸镀制程简述）
为了更好地理解FMM的重要性,我们简要一下OLED的蒸镀过程：
- 准备基板： 玻璃基板上已经制作好了TFT（薄膜晶体管）阵列,用于驱动每个像素。
- 放置FMM： 将制作好的FMM对准并放置在基板上方,形成精密的间隙。
- 多源蒸镀： 在真空腔室中，有多个分别装有红色、绿色、蓝色有机材料的蒸发源，腔室会分批次地抽真空,并分别加热不同颜色的蒸发源。
- 材料蒸镀： 当蒸镀红色材料时，腔室内的红色有机材料被加热蒸发，分子向上飘散，穿过FMM上对应的红色子像素开口，精准地沉积在基板的指定区域，真空腔室被破空,FMM和基板被移出。
- 旋转对位： 整个基板和FMM组件会旋转120度,对准下一个颜色的蒸镀源。
- 重复蒸镀： 重复步骤3-4,依次蒸镀绿色和蓝色材料。
- 完成： 经过RGB三次蒸镀，一个完整的OLED像素点阵列就形成了，后续再封装上偏光片、盖板等,就完成了一块OLED面板。
在这个过程中，FMM的精度直接决定了每个像素点的大小、形状和位置的准确性。
FMM技术面临的挑战与难点
FMM技术是OLED制造中公认的“卡脖子”技术之一，其制造难度极高,主要体现在以下几个方面：
材料选择与加工精度：
- 材料要求苛刻： FMM材料必须在高温蒸镀环境下（约300°C）不变形、不热胀冷缩，殷钢因其极低的热膨胀系数而被广泛应用，但它质地坚硬,加工难度极大。
- 极致的厚度均匀性： 整块模板的厚度必须高度均匀，否则在蒸镀过程中，不同区域的蒸镀速率会不一致,导致颜色亮度不均。
- 纳米级孔洞加工： FMM上的微孔孔径通常只有5-15微米，而孔壁间距甚至小于5微米，要在几十微米厚的金属板上，加工出数百万个如此精密、边缘光滑、无毛刺的微孔，对光刻、蚀刻等工艺的要求达到了极限，任何微小的瑕疵都可能导致材料蒸镀时发生“桥连”（Pixel Bridge），使不同颜色混在一起,造成致命的显示缺陷。
精度与对位：
- 对位精度： 在进行RGB三色蒸镀时，基板和FMM需要多次旋转和重新对位，每次对位的精度要求极高，误差必须控制在微米级别，否则，红、绿、蓝三个子像素无法完美重合，导致画面出现色彩偏差、分辨率下降或“纱窗效应”。
- 张力控制： FMM本身非常薄，像一张“金属纸”，在移动和放置过程中，必须精确控制其张力，防止因受力不均而变形,否则蒸镀出的像素就会失真。
耐用性与寿命：
- 在多次的基板装载、卸载、旋转过程中，FMM会与基板发生摩擦，这个过程被称为“接触式蒸镀”，容易导致FMM磨损或损坏，降低其使用寿命，增加了生产成本，行业内也在积极研发“非接触式蒸镀”技术,但这又带来了新的技术挑战。
FMM技术的未来发展方向
随着OLED向更高分辨率（如8K）、更大尺寸（如电视）和柔性化方向发展,FMM技术也在不断演进：
- 高精度化： 孔径越来越小，间距越来越窄，以支持PPI（每英寸像素数）超过1000的超高分辨率屏幕。
- 大型化： 对于大尺寸OLED电视，FMM的尺寸需要做到米级，同时还要保证整个大范围内的平整度和精度,难度呈指数级增长。
- 柔性化： 柔性OLED的蒸镀对FMM提出了新的要求，需要FMM本身也能适应一定的弯曲,或在非接触式蒸镀中保持稳定。
- 新材料与新工艺： 研发加工性能更好、成本更低的FMM材料，以及更先进的微纳加工技术（如激光加工）,以提高良率和降低成本。
- 替代技术（后FMM时代）： 为了从根本上解决FMM的瓶颈，业界正在积极研发下一代技术，如喷墨打印和低温多晶硅氧化物，喷墨打印技术通过“按需打印”的方式直接将RGB材料涂覆在基板上，理论上可以绕开FMM，实现更高的材料利用率和柔性化生产，但目前在大尺寸、高分辨率面板上仍面临技术成熟度和良率的挑战。
FMM是OLED屏幕实现高分辨率、高色彩纯度的基石。 它就像一个高精度的“像素模具”，在真空蒸镀中为红、绿、蓝三色材料划定了精确的“领地”，其制造工艺极其复杂，涉及材料、精密加工、对位控制等多个领域的顶尖技术，是OLED产业链中技术壁垒最高、难度最大的环节之一，FMM技术的突破和替代技术的发展,将继续深刻影响整个显示产业的格局。
