这是一个非常复杂且备受关注的问题,答案是:ASML的光刻机中确实包含了源自中国的技术,但这些技术是公开的、非核心的、且在全球产业链中普遍存在的。

我们可以从以下几个层面来理解这个问题:
技术来源:全球化分工的必然结果
现代光刻机是工程学上的奇迹,是全球顶尖技术合作的结晶,ASML本身并不生产所有零部件,而是像一个系统集成商,将来自全球各地的数千家供应商的尖端技术整合在一起。
中国作为“世界工厂”,在全球制造业供应链中扮演着重要角色,ASML的供应链中,自然也包括中国的公司,这些合作主要分为两类:
a) 标准化、非核心的零部件供应
这是最主要的部分,中国的一些公司为ASML提供非关键、标准化的机械、电子或材料零部件,这些零部件的特点是:

- 技术门槛相对较低:是许多供应商都能生产的通用件。
- 价值占比小:在光刻机的总价值中,这些零部件的成本占比微乎其微。
- 可替代性强:如果需要,ASML可以轻易地从其他国家或地区找到替代供应商。
例子包括:
- 机械结构件、机柜、外壳:由中国的精密机械加工企业提供。
- 部分标准件、泵、阀门:用于辅助系统。
- 部分电缆、连接器。
将这些零部件视为“中国技术”在光刻机中,类似于说一部iPhone里有中国产的螺丝和外壳,这确实是事实,但它并不构成iPhone的核心技术(如A系列芯片、iOS系统)。
b) 非核心的技术授权或合作
在某些领域,ASML可能会与中国的大学或研究机构进行一些基础性的研究合作,或者使用一些公开的、非专有技术的专利,但这些合作绝不涉及光刻机的核心技术和知识产权。
核心技术:绝对垄断,与中无关
光刻机的真正价值在于其核心技术,这部分技术牢牢掌握在ASML及其核心合作伙伴(主要是荷兰、德国、美国、日本)手中,并且受到严格的出口管制,中国在这些核心技术上没有任何贡献。

ASML的核心技术主要包括:
| 技术领域 | 主要来源/合作伙伴 | 中国的角色 | |
|---|---|---|---|
| 光源技术 | EUV(极紫外光)光源:产生13.5纳米波长的极紫外光,是7纳米及以下先进制程的绝对关键。 | 德国蔡司 提供精密反射镜;美国Cymer(现为ASML子公司) 提供光源技术。 | 无任何参与,这是ASML最顶尖、最保密的技术,也是美国对华出口管制的重中之重。 |
| 光学系统 | 高精度反射镜组:由数十块甚至上百块精密反射镜组成,用于聚焦极紫外光,其平整度以皮米(picometer,万亿分之一米)计算。 | 德国蔡司:拥有全球独一无二的光学研磨和镀膜技术,是ASML无法绕开的“心脏供应商”。 | 无任何参与,蔡司的技术是德国乃至欧洲工业的骄傲,对中国严格保密。 |
| 双工件台技术 | 两个超高速、超精密的工件台:一个对准晶圆,一个对准光路,像“两只手”一样交替工作,实现极高的生产效率。 | 荷兰ASML自主研发,并整合了多家顶尖供应商的技术。 | 无任何参与,这是ASML的核心专利之一,保证了其生产效率的绝对领先。 |
| 计量与控制 | 高精度测量和定位系统:确保每一层电路都能精准对准,误差不超过纳米级别。 | 德国、比利时等国的顶尖传感器和测量技术公司。 | 无任何参与。 |
你可以把ASML的光刻机想象成一架顶级的F-1赛车。
- 中国的贡献:可能提供了轮胎的气门嘴、车身的部分螺丝、或者车手的饮用水瓶。
- ASML及其伙伴的贡献:提供了发动机、变速箱、空气动力学套件、刹车系统、以及整车的调校和集成技术。
显然,后者才是决定赛车性能的核心。
地缘政治视角:为什么这个问题如此敏感?
尽管中国提供的只是“螺丝钉”级别的技术,但在当前中美科技战的背景下,这个问题被赋予了特殊的政治意义。
- ASML的立场:ASML反复强调,其出口到中国的光刻机(主要是DUV深紫外光刻机)不包含任何受出口管制限制的中国技术,他们需要向荷兰政府和美国政府证明,其产品不违反技术出口禁令,否则将无法获得许可证向中国客户(如中芯国际)供货,ASML有充分的动机去澄清这一点。
- 中国的立场:中国承认自己在全球供应链中的角色;更加强调“卡脖子”的痛,即核心技术的缺失,中国的目标是通过自主研发,逐步摆脱对西方(尤其是ASML)的依赖,实现半导体产业链的自主可控。
ASML光刻机中确实有中国制造的零部件,但这些是公开市场采购的、非核心的、可替代的通用件。
光刻机的核心技术和知识产权,包括EUV光源、蔡司光学系统、双工件台等,完全掌握在荷兰、德国、美国等西方国家手中,并且受到严格的出口管制,中国在这些关键技术领域没有任何贡献或参与。
说“ASML光刻机有中国技术”在字面上是部分正确的,但在技术和战略层面是具有误导性的,它掩盖了在尖端科技领域,中国与西方发达国家之间存在的巨大鸿沟。
